
| Rozteč mřížky | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tepelná roztažnost | 10,6 × 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Rezoluce | 0,5–1–5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Opakovatelnost | ±1 přírůstek | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maximální rychlost m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Typ výstupu | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Max. zrychlení | 20 m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ochrana | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Napájení | Max. 60 mA | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fázový posun | 90°±5°elektrické | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Provozní teplota | 0°–50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Skladovací teplota | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vlhkost | 100% bez kondenzace |